| 氨 （NH3） | 一氧化二氮 （N2O） | ||
| 二氯硅烷 （SiH2Cl2） | 氧 （O2） | ||
| 二硅烷 （Si2H6） | 硅烷 （SiH4） | ||
| 六氯二硅烷 （Si2Cl6） | 三氯硅烷 （SiHCl3） | ||
| 单甲基硅烷 （MMS） | 三甲基硅烷 （3MS） | ||
| 一氧化氮 （NO） | 六氟化钨 （WF6） |
此列表并不详尽。 可用性和规格可能因地点而异。请联系您当地的 Linde 代表了解更多信息。
电子特种气体
拥有超过100种气体和混合气体——来自全球领先的供应商
林德在核心制造区域构建了全球生产网络，提供全系列特种气体，为电子制造工艺提供助力。
首选供应商
作为全球电子特种气体的首选供应商，我们提供超过100种特种气体和混合气体。凭借深厚的工艺知识，我们的电子气体可满足您对纯度和一致性的严苛要求。
我们的电子特种气体生产设施网络遍布全球，战略性地布局于主要制造市场，具有及时交付、灵活性和供应链安全等显著优势。
我们的电子特种气体提供多种包装尺寸，可适应您的定制化应用需求，其中包括气瓶、吨桶、长管拖车和ISO集装箱。
需要更多信息？
欢迎联系我们，索取数据表，详细了解适用不同领域的特种气体的特性和规格。
沉积气体
蚀刻气体
| 三氯化硼 （BCl3） | 氟化氢 （HF） | ||
| 二氧化碳 （CO2） | 氟甲烷 - 氟甲烷 - 卤烃 41 （CH3F） | ||
| 一氧化碳 （CO） | 三氟化氮 （NF3） | ||
| 氯 （Cl2） | 八氟环丁烷 – 卤烃 318 （C4F8） | ||
| 三氟化氯 （ClF3） | 八氟环戊烯 - 卤烃 1418 （C5F8） | ||
| 二氟甲烷 - 卤烃 32 （CH2F2） | 八氟丙烷 - 卤烃 218 （C3F8） | ||
| 氟 （F2） - 也可 现场生成 | 四氟化硅 （SiF4） | ||
| 氟氮混合物（20% F2/N2 混合物） | 六氟化硫 （SF6） | ||
| 六氟-1,3-丁二烯 - 卤烃 2316 （C4F6） | 四氟甲烷 - 卤烃 14 （CF4） | ||
| 六氟乙烷 - 卤烃 116 （C2F6） | 三氟甲烷 - 卤烃 23 （CHF3） | ||
| 溴化氢 （HBr） | 二氟化氙 （XeF2） | ||
| 氯化氢 （HCl） |
此列表并不详尽。可用性和规格可能因地点而异。请联系您当地的 Linde 代表了解更多信息。
掺杂气体
| 砷化氢 （AsH3） | 日耳曼 （GeH4） | ||
| 硼 11 三氟化物 （11BF3） | 磷化氢 （PH3） | ||
| 乙硼烷 （B2H6） | 三甲基硼 （TMB） | ||
| 乙硼烷 （11B2H6） |
此列表并不详尽。可用性和规格可能因地点而异。请联系您当地的 Linde 代表了解更多信息。
其他
| 氩 （Ar） | 硫化氢 （H2S） | ||
| 氦 （He） | 氮气 （N2） - 也可现场生成 | ||
| 氢气 （H2） - 也可 现场生成 |
此列表并不详尽。 可用性和规格可能因位置而异。请联系您当地的 Linde 代表了解更多信息。